1.利用離子源進(jìn)行表面處理，適用于真空鍍膜前清洗或鍍膜過(guò)程輔助沉積
2.適合于多元化的研究和產(chǎn)品運(yùn)用。
電源效率≥90%
提升氣體離化率及活化度，與金屬離子高效結(jié)合
電壓電流調(diào)整范圍大，穩(wěn)定性高
強(qiáng)大的抑弧功能，有效抑制異常放電
| 項(xiàng)目 | 型號(hào) | |||
| DI-10 | DI-20 | DI-30 | DI系列電源 | |
| 輸入電壓 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | |||
| 輸出頻率 | 10KW | 20KW | 30KW | 10KW-100KW可定制 |
| 常規(guī)工作電流 | 2A-10A | 3A-20A | 4A-30A | 2A-100A可定制 |
| 常規(guī)工作電壓 | 100V～1000V | |||
| 工作電流 | 2A-12.5A | 3A-25A | 4A-37.5A | |
| 工作電壓 | 100V-800V（空載電壓＞800V） | |||
| 工作方式 | 恒壓、恒流、恒功率 | |||
| 輸出頻率 | 40kHz～80kHz | |||
| 占空比 | 80% | |||
| 調(diào)節(jié)精度 | ≤1% | |||
| 工作效率 | ≥90% | |||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ＜500ns | |||
| 通訊方式 | RS485、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協(xié)議 | |||
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷+水冷 | |||
| 尺寸（mm） | 710（D）×435（W）×225（H） | 710（D）×435（W）×225（H） 810（D）×435（W）×280（H） | ||
| 安全防護(hù) | 過(guò)流、過(guò)壓、短路、過(guò)熱保護(hù)，接地保護(hù)，漏電保護(hù) | |||
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